In dit doctoraatsproefschrift beschrijven we de ontwikkeling van fotonische geïntegreerde circuits voor toepassingen in het kortegolfinfrarood golflengtegebied (met de focus op het 2-2.5 micrometer golflengtegebied). De golfgeleidercircuits zijn gebaseerd op silicium-op-isolator en werden gerealizeerd met standaard fabricagetechnologie uit de elektronica-wereld. Heel lage golfgeleiderverliezen werden gedemonstreerd. Op deze golfgeleidercircuits werden kortegolfinfrarood detectoren en laserbronnen geintegreerd hetgeen toelaat complexe fotonische functies te gaan integreren. Deze laserbronnen en detectoren zijn gebaseerd op GaSb III-V halfgeleiders en werden door middel van een heterogeen integratieproces aangebracht op de siliciumcircuits. De ontwikkelingen in dit doctoraatsproefschrift laat toe om geminiaturizeerde sensoren te ontwikkelen, bv. voor het monitoren van glucoseconcentraties in interstitieel vocht, hetgeen cruciaal is voor de goede opvolging van patiënten met diabetes. | |