Het in dit proefschrift gepresenteerde werk is voornamelijk gericht op verschillende typen Micro-Optoelectronische devices, gericht op verschillende toepassingen zoals moderne beeldschermtechnologie en optische communicatiesystemen. Door nieuwe CMOS-compatible poly-SiGe techniek van IMEC te gebruiken, werden Grating Light Valve (GLV)-devices van hoge kwaliteit gefabriceerd. Met een grondige optimalisatie van de device-parameters kon een uitstekend contrast van >1500:1 bereikt worden, gecombineerd met een schakelsnelheid van 2 µs. Dezelfde technologie werd gebruikt voor het maken van 2D MEMS grating based variable optical attenuators (VOA’s), welke een polarisatie-onafhankelijke demping vertoonden van 20 dB, met een schakelsnelheid van 3.3 µs. In het algemeen toonden deze resultaten de uitstekende eigenschappen van de poly-SiGe-technologie voor het maken van grote arrays van hogekwaliteit MOEM-devices die monolitisch direct bovenop CMOS worden aangebracht. Een deel van het gepubliceerde werk is gefocust op het oplossing van uitlijningsproblemen in silicon photonic devices met behulp van SOI-gefabriceerde MEMS-technieken. We introduceerden het nieuwe idee om een Focusing Grating Coupler (FGC) te gebruiken voor in-plane verschuivingen of out-of-plane rotaties door middel van MEMS-structuren. Deze technieken kunnen worden toegepast om respectievelijk verkeerde uitlijning naar een single mode fiber te verhelpen of te assisteren in beam steering.