Chips met fotonische geïntegreerde schakelingen, die gebruik maken van licht in plaats van elektrische stroom, zijn sinds enkele decennia aan een grote opmars bezig en vormen mee de basis van het wereldwijde web zoals we dat vandaag kennen. Recenter is de trend om deze technologie ook te gebruiken in andere toepassingsgebieden, zoals bijvoorbeeld in de medische/diagnostische sector, de auto-industrie, of voor het realiseren van kwantumcomputers. Om succesvol te zijn voor deze volgende generatie is het vaak nodig om voorbij de limieten van de individuele bestaande technologieplatformen te gaan. Door technologieën te combineren kunnen schakelingen veel krachtiger worden. Dit kan ofwel gebeuren door aparte chips te assembleren tot één schakeling, ofwel door een nieuwe processtroom te ontwikkelen die verschillende technologieën kan combineren op één enkele chip. Deze laatste methode, hoewel ze zich meer leent tot opschaling, gaat echter meestal gepaard met hoge ontwikkelingskosten. In dit proefschrift wordt gebruik gemaakt van de microtransferprintmethode om een processtroom te ontwikkelen voor de integratie van twee voordien incompatibele materialen: indiumfosfide en siliciumnitride. De kiem wordt gelegd om deze technologie te gebruiken voor een breed gamma aan mogelijke combinaties. De gebruikte methode heeft het potentieel om de ontwikkelingskost van nieuwe, geavanceerdere technologieën sterk te verminderen. | |