In deze doctoraatsthesis introduceren we een fabricageproces dat toelaat om het substraat lokaal te verwijderen onder een fotonisch kristalmembraan zonder dat de toplaag met devices wordt aangetast. We tonen aan dat het voorgestelde proces compatibel is met de integratie van micrometergrootte SU8-gebaseerde polymeer golfgeleiders. We tonen aan dat de Q-factor van beide caviteiten niet beïnvloed wordt door de talrijke processtappen, wat de devicearchitectuur een goede kandidaat maakt voor detectietoepassingen. Na devicefabricage hebben we de caviteiten gekarakteriseerd door een nanovezeltip te plaatsen in het nabije veld van de caviteit en tezelfdertijd de intensiteitsverdeling van de caviteitsmode te meten. In deze thesis hebben we de detectielimiet van fotonische kristalcaviteiten voor detectietoepassingen bestudeerd. In het bijzonder hebben we het compromis bepaald tussen detectielimiet en meetsnelheid.