Golfgeleiders geïntegreerd met een laagje grafeen openen de deur naar tal van fotonische toepassingen zoals signaal detectie, modulatie en switching. Deze thesis gaat over de ontwikkeling van switches gebaseerd op grafeen en behandelt onder andere het ontwerp, de fabricatie en karakterisatie van de switches. In een eerste fase werden modulatoren en switches op basis van grafeen ontworpen. De mechanismen achter het optische verlies en het dynamisch gedrag van deze componenten werd gesimuleerd. Een belangrijke parameter is de 3-dB bandbreedte. Volgens onze berekeningen kunnen we een bandbreedte van 16 GHz en een ER van 5 dB verkrijgen in een korte modulator met een smalle capaciteit en een dik poort-oxide. In langere modulatoren verkrijgen we 20 dB ER en een switch-snelheid van 2.5 GHz. Vervolgens hebben we een nieuwe methode ontwikkeld om grafeen met dimensies in de orde van micrometers te verplaatsen met behulp van een commercieel toestel. In een volgende stap hebben we die nieuwe transfer methode gebruikt om switches gebaseerd op grafeen te vervaardigen. Deze switches zijn geïntegreerd op photonic crystal (PhC) caviteiten gemaakt uit silicium die naar voor of opzij kunnen koppelen. Bij het aanleggen van een spanning van -1.2 V werd een hoge ER van 17 dB opgemeten voor de vooruit koppelende caviteit en een ER van 4.7 dB bij de opzij koppelende caviteit. | |