Silicium fotonica heeft zich gedurende de voorbije twee decennia gevestigd als een onmisbaar geïntegreerd optisch platform, ten dienste van onder meer optische communicatie in datacenters. In de voorbije jaren is siliciumnitride naar voor gekomen als een belangrijk materiaal ter aanvulling van conventionele silicium fotonische geïntegreerde schakelingen. Siliciumnitride heeft een breed transparantievenster - tot in het zichtbare spectrale bereik - wat het toepassingsgebied van silicium fotonica sterk uitbreidt. Daarnaast maken de extreem lage golfgeleidingsverliezen en het hoge tolereerbare optische vermogen ongekende prestaties mogelijk. Het siliciumnitride platform op zichzelf is echter een zuiver passief platform en berust derhalve op hybride of heterogene integratiemethoden om actieve componenten, zoals lasers, te bouwen en het volledige technologische potentieel te benutten.
Dit doctoraatsproefschrift beschrijft onze inspanningen om het huidige toepassingsgebied en de bijbehorende functionaliteiten van siliciumnitride fotonische geïntegreerde schakelingen uit te breiden. Hiervoor worden materialen en actieve componenten heterogeen geïntegreerd met behulp van micro-transfer printen. Gebaseerd op deze integratietechniek worden onder meer mode-vergrendelde kamlasers voor spectroscopische sensoren gedemonstreerd, alsook fotodetectoren en optische versterkers om de mogelijkheden van het siliciumnitride platform uit te breiden in het zichtbare spectrale bereik.
| |