Met het recente uitrollen van het 5e-generatie mobiele netwerk en de explosieve groei van de Internet-of-Things, worden er steeds meer draagbare apparaten ontwikkeld die typisch batterijgevoed zijn. De spanningsomzetters vormen een noodzakelijk onderdeel in deze elektronische toestellen, waarvan de gebruikers eisen dat ze steeds kleiner en vermogenefficiënter worden. In dit proefschrift stellen we een monolitische hoogspanningsstuurschakeling voor, geïmplementeerd in de 0.35µm H35 CMOS IC technologie van Austria MicroSystems (AMS). Deze schakeling zal gebruikt worden bij het aansturen van een Micro-Elektro-Mechanisch Systeem (MEMS) interferometer. Deze monolitische hoogspanningsgenerator maakt gebruik van een geavanceerde ladingsrecyclagestrategie en in-vinger-gestructureerde capaciteiten, om zo het vermogenverlies door parasitaire capaciteiten te minimalizeren. Een gedetaileerde theoretische analyse samen met de numerieke simulatie worden voorgesteld, alsook de meetresultaten van de gefabriceerde chip ter verificatie van het voorgestelde ontwerp.