De vooruitgang in de ontwikkeling van geminiaturiseerde elektronische implantaten gaat razendsnel. Deze apparaten kunnen ingezet worden gedurende een lange tijd (meer dan 30 dagen) als sensoren, stimulatoren, camera’s,… De mechanische flexibiliteit van het implantaat is ook belangrijk. Eén van de uitdagingen bestaat erin om deze implantaten hermetisch te verpakken. Twee zaken zijn hierbij van cruciaal belang. 1) De elektronica wordt beschermd tegen vocht, ionen en biomoleculen. 2) Diffusie van toxische componenten vanuit de implant naar het lichaam wordt vermeden. Biocompatibele Polymere films zijn ideaal als verpakkingsmateriaal. Echter, polymeren laten teveel vocht of ionen door en zijn dus niet voldoende hermetisch. In deze doctoraatsstudie worden keramische metaaloxide laagjes (AlOx en HfOx) voorzien tussen de polymeerlagen. Deze ultra hermetische keramische lagen zijn zeer dun (˂50 nm) en behouden zo de flexibiliteit. Ze worden gedeponeerd via Atomic Layer Deposition. In deze studie worden verschillende plasma voorbehandelingen gebruikt op de oppervlakte van biocompatibele polyimide lagen om de nucleatie, groei en adhesie van metaal oxides te onderzoeken en te optimaliseren. Daarnaast wordt ook aangetoond dat plasma behandeling van het polyimide resulteert in een daling van de cel toxiciteit. De eindresultaten leveren een degelijke bijdrage voor de ontwikkeling van flexibele hermetische barrières voor medische implantaten.