Silicium (Si) fotonica is een veelbelovend vakgebied dat gebruik maakt van licht en de controle ervan op een chip mogelijk maakt. Vanwege de compatibiliteit met de bestaande fabricagefaciliteiten van elektronica is de productie van silicium fotonische chips eenvoudig schaalbaar. Hierdoor heeft het toepassingen gevonden in gebieden zoals de telecomindustrie, sensortechnologie en kwantumtechnologie. Voor bepaalde functionaliteiten vereist Si echter de integratie van andere materialen. In dit proefschrift onderzoeken we de integratie van een lood-zirkonaat-titanaat (PZT) dunne laag op een silicium fotonische chip voor nieuwe toepassingen. PZT vertoont een piëzo-elektrisch effect, wat een vermogen is om te vervormen onder een aangelegd elektrisch veld. We maken gebruik van deze eigenschap om mechanische trillingen te genereren en de beweging van speciaal ontworpen structuren op de chip te regelen via elektrische invoer. We hebben deze methoden gebruikt om het lichtsignaal te manipuleren, wat potentieel biedt voor nieuwe toepassingen in optische communicatie.