Microspiegels zijn beweeglijke minuscule spiegeltjes die, wanneer ze in een tweedimensionale matrixstructuur zijn geordend, kunnen gebruikt worden om via projectie-optiek een willekeurig beeld te projecteren. Dergelijke microspiegel-beeldschermen zijn een goed voorbeeld van de snel aan belang winnende MEMS (micro-elektromechanische systemen). Het heeft allerlei voordelen MEMS te implementeren die fungeren als sensoren of actuatoren op kleine schaal. De kleinere, lichtere en vaak goedkopere MEMS-implementaties hebben uiteenlopende toepassingen gaande van microfoons, druksensoren, accelerometers, gyroscopen, micromotors, diffractieroosters tot microspiegels, met als schoolvoorbeeld van een succesvol MEMS-product: het Digital Micromirror Device (DMD)-display, gekend van zijn implementatie bij projectiedisplays. In dit doctoraat wordt de haalbaarheid bestudeerd van een microspiegelmatrix die compatibel is met standaard CMOS-technologie, dit met het oog op beeldschermtoepassingen. Hiertoe werden nieuwe concepten en ontwerpen voor microspiegelmatrices bedacht, gesimuleerd en later ook vervaardigd door de collega’s van imec, die tegelijkertijd een CMOS-compatibele MEMS-technologie hadden ontwikkeld gebaseerd op het materiaal SiGe. De klemtoon van dit onderzoek ligt op de elektromechanische karakterisatie van de SiGe-microspiegels.