Bliksem werd tot aan de ontdekking van de bliksemafleider (18e eeuw) gezien als een van de gevaarlijkste bedreigingen voor het stadsleven. Door het gebruik van micro-elektronica werden ingenieurs gewaar dat ditzelfde fysische verschijnsel, elektrostatische ontlading of ESD genoemd, zich ook op microscopische schaal voordoet. In de jaren zeventig was meer dan 30% van al het chipfalen te wijten aan ESD. Om dit tegen te gaan werd met het onderzoek naar ESD-protecties en -meetsystemen aangevangen. Om meer informatie over het gedrag van een ESD-protectie te verkrijgen wordt een ESD-puls op dit systeem losgelaten. Het antwoord van de protectie op deze puls wordt dan bepaald m.b.v. spannings- en stroomgolfvormmetingen. In dit werk wordt een nieuwe nauwkeurige ESD-golfvormmeettechniek voorgesteld die directe metingen op protecties kan uitvoeren. De karakterisering van ESD-golfvormen op chip wordt enorm bemoeilijkt door de grote hoeveelheid elektromagnetische interferentie die de ESD-puls veroorzaakt. Dit wordt omzeild door het gewenste signaal naar een veilige omgeving te transporteren, waar een standaard meettoestel de meting kan uitvoeren. Dit transport wordt gerealiseerd m.b.v. optische communicatie, wat immuun is voor elektromagnetische interferentie. Zo kan nauwkeurige in-situ-informatie worden verkregen waarmee de ESD-protecties in de toekomst verbeterd kunnen worden. | |